3C行业中的脆性材料激光加工 超快激光优势明显
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3C行业中的脆性材料激光加工 超快激光优势明显

  垂直作用于材料表面,在材料内部形成一个一个的光斑,后期使用机械方式或其他的方式能使材料沿加工路径裂开得到裂片,这种隐切主要是应用在LED灯条方面。另一个是成丝。简单来说就是将一个圆形光斑通过DOE(Diffractive Optical Elements,衍射光学元件)整形成长丝状,用于连续切割,可以穿透物体一次性切透。材料方面厚度的选择可以在0.2-2mm之间。PPT右下角展示的是2mm的玻璃的一个切割效果图。

  去除使用的脉冲能量和前面不一样。前面提到的裂纹应用所用的脉冲能量并不高,它只会在切割的点位产生一些熔点,而不会对整个材料产生一定的影响。而去除常用的是振镜,等于是把材料烧蚀,使用的脉冲能量比较大。它是一个从固态到气化的过程。主要使用在有镀层油墨的去除,蓝宝石上PVD的去除,刻字,带有玻璃和蓝宝石上的挖槽,蓝宝石和玻璃的打孔,蓝宝石和玻璃的切割等方面。

  下面我们的角度来看应用实例。我们手机后面的薄片大致上可以分为蓝宝石或玻璃两类,iPhone手机多用蓝宝石。如PPT所示,一整片蓝宝石晶圆通过一种吊篮装夹以后,进入下一步的去除应用,在相应位置生产出对应孔,并能做到崩边小于20μm,锥度小于两度,相当于垂直。同时,为了更好的提高单位效率,我们会采用双头的裂缝光用于现有的切割,速度能达到两秒钟切一片,崩边能做到小于10μm,锥度也能做到两度。另外4pd(4 point bend,四点弯曲)的强度,我们大家可以做到600MPa以上。

  蓝宝石摄像头窗口片的加工与手机薄片略有不同,主要不同之处在于晶圆是否带油墨。手机薄片的切割过程不存在伤害油墨的问题,而摄像头窗口片是镀完油墨再进行切割,这对工艺和技术的要求更高,有几率存在油墨烧伤后造成漏光的问题。所以我们会针对蓝宝石窗口片加工采用新一代的应用技术,在光路上做调整,能做到崩边和锥度跟以前一样,油墨损伤小于50μm。